MgO単結晶基板上におけるFePt, FePd, CoPt, およびCoPd合金薄膜のエピタキシャル成長(信号処理,一般)
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概要
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超高真空RFマグネトロンスパッタリング法によりMgO単結晶基板上にエピタキシャルFePt, FePd, CoPt,およびCoPd合金薄膜を形成し,膜材料,基板結晶方位,および基板温度が,膜成長,膜構造,および磁気特性に及ぼす影響について系統的に調べた.高い基板温度で形成したFePtおよびFePd膜に対して,MgO(001),(110),(111)のいずれの基板上においても,L1_0規則相が得られた.また,基板温度600℃でMgO(001),(110)基板上に形成したCoPt膜に対しても,L1_0規則相が形成された.これらの膜では,基板温度の上昇に伴い,L1_0相への規則化が進行した.L1_0相への規則度は膜材料により変化し,FePd > FePt > CoPtの順に高い規則度が得られた.MgO(001)基板上では,L1_0-FePd膜はc軸が基板面と垂直である(001)結晶から構成されているのに対し,L1_0-FePtおよびL1_0-CoPt膜は(001)結晶に加え,c軸が基板面と平行となった(100)結晶を含むことが分かった.MgO(110)基板上では,L1_0-FePtおよびL1_0-FePd膜はc軸が基板面と平行である(110)結晶とc軸が膜面垂直方向から約45°傾斜した(011)結晶の複合結晶膜であるのに対し,L1_0-CoPt膜は(110)結晶のみから構成された.MgO(111)基板上では,c軸が膜面垂直方向から約55°傾斜した(111)面が基板面と平行に配向したL1_0-FePtおよびL1_0-FePd膜がエピタキシャル成長した.MgO(111)基板上に形成したCoPt膜に対しては,準安定相であるL1_1規則相が得られた.基板温度を上昇に伴いL1_1相への規則化が促進されたが,基板温度が300℃を超えると規則度が減少した.CoPd膜に対しては,いずれの規則相も形成されなかった.磁気特性は,膜の結晶構造,結晶方位,および規則度により変化した.
- 2011-12-08
著者
-
二本 正昭
中央大学理工学部
-
桐野 文良
東京芸術大学大学院美術研究科
-
大竹 充
中央大学理工学部
-
桐野 文良
東京藝術大学大学院美術研究科文化財保存学専攻
-
二本 正昭
日立
-
桐野 文良
東京藝術大 大学院美術研究科
-
大内 翔平
中央大学理工学部
-
桐野 文良
東京芸術大学
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