熱処理によるFePt合金薄膜の微細構造の変化と規則化(信号処理及び一般)
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概要
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FePt薄膜を熱処理した時の微細構造の変化を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した.TEM像で規則化した結晶粒を観察するために,独自に設計したアパーチャを用いて暗視野観察を行った.熱処理温度の上昇に伴い,隣接する結晶粒が集まってクラスターを形成するとともにクラスター内部で原子の移動拡散による結晶粒成長が起こること,およびL1_0構造を持つ規則化領域が粒界付近に多く分布していることなどが明らかになった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-12-06
著者
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