高分解能磁気力顕微鏡観察による高密度磁気記録媒体の記録磁化安定性の検討
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概要
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3d強磁性膜(Co,Fe,Ni)を市販の原子間力顕微鏡探針に被覆することによってMFM探針を作製し,MFM空間分解能に及ぼす材料の影響を調べた.高分解能SEM観察により,MFM探針の探針先端半径を測定した.磁性膜の被覆膜厚増加に伴って探針先端の磁性膜体積が増加し,MFM検出感度は向上したが,探針先端半径の増加によりMFM観察分解能は減少した.いずれの磁性材料においても同様の傾向が認められた.20nm厚のCo膜被覆探針を用いることにより,10nmレベルの空間分解能を得ることができた.作製した高分解能探針を用いて,垂直磁気記録媒体の記録磁化状態安定性およびパターンド媒体の磁化反転特性の高分解能MFM観察を行った.
- 2010-10-07
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