CoCrTa薄膜媒体の微細構造と組成偏析
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概要
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CoCrTa薄膜媒体の組成的微細構造を解明することを目的に、分析機能を持つ高分解能電子顕微鏡法により、面内および垂直磁気記録媒体として検討されているCoCrTa媒体の微細構造を調べた。高い基板温度で形成した媒体では、面内および垂直磁気記録媒体のいずれの媒体でも、結晶粒界に25at.%を超えるCrの強い偏析層が観察された。このCrに富んだ偏析層の厚さは、1.5〜2nmと解釈された。CoCrTa面内媒体のバイクリスタル結晶粒界のCr偏析量は通常の結晶粒界の組成に比べ、若干低い値が得られた。結晶粒内のCr量は膜の平均組成より低く、しかも6〜12%程度の範囲で揺らいで分布していることが分かった。膜の形成基板温度、磁気特性および組成偏析構造の関係を調べた結果、Cr偏析構造と保磁力には密接な関係があることが確認された。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-11-23
著者
-
木本 浩司
日立製作所日立研究所
-
木本 浩司
日立
-
木本 浩司
日立 日立研
-
稲葉 信幸
日立中研
-
二本 正昭
株式会社日立製作所中央研究所
-
二本 正昭
日立製作所中央研究所
-
木本 浩司
物質・材料研究機構 ナノ計測センター 先端電子顕微鏡グループ
-
平山 義幸
日立製作所 中央研究所
-
稲葉 信幸
日立製作所中央研究所
-
稲葉 信幸
山形大学大学院理工学研究科
-
平山 義幸
日立製作所中央研究所
-
宇佐 美勝久
日立製作所日立研究所
-
宇佐美 勝久
(株)日立製作所 日立研究所
-
稲葉 信幸
日立 中研
-
平山 義幸
日立
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