Si基板上に形成したAl_2O_3薄膜のELNES解析
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概要
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- 2004-12-20
著者
-
木本 浩司
物質・材料研究機構
-
田中 功
京都大学大学院工学研究科
-
木本 浩司
日立 日立研
-
溝口 照康
京都大学大学院工学研究科
-
木本 浩司
物質・材料研究機構 ナノ計測センター 先端電子顕微鏡グループ
-
木本 浩司
名古屋大学大学院工学研究科応用物理学専攻
-
田中 功
山梨大学大学院医学工学総合研究部附属クリスタル科学研究センター
-
Tanaka I
Division Of Biological Science Graduate School Of Science Hokkaido University
-
溝口 照康
京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
-
溝口 照康
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
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