岩田 誠一 | 日立 中研
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概要
関連著者
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岩田 誠一
(株)日立製作所中央研究所
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岩田 誠一
株式会社日立製作所中央研究所
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岩田 誠一
日立 中研
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石坂 彰利
株式会社日立製作所中央研究所
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山本 直樹
(株)日立製作所中央研究所
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矢野 史子
株式会社日立製作所中央研究所
-
山本 直樹
株式会社日立製作所中央研究所
著作論文
- Al蒸着膜へのAu線熱圧着性に及ぼすAl酸化被膜の影響
- 半導体素子Al電極への高速Au線熱圧着
- AuとAlの熱圧着における接合界面の変形と新生面の生成
- ESCAによるSiO_2/Si内の電子トラップ,正孔トラップの検出
- ESCAで測定されたSi2p準位に与えるX線照射の影響
- Mo/Si界面でのSi酸化物の生成