木本 浩司 | 日立・日立研

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概要

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関連著者

• 木本 浩司

  日立・日立研

• 木本 浩司

  物質・材料研究機構 ナノ計測センター 先端電子顕微鏡グループ

• 青山 隆

  日立製作所日立研究所

• 上田 和浩

  日立・日立研

• 青山 隆

  日立・日立研

• 矢野 史子

  日立・半導体事業部

• 三井 泰裕

  日立・半導体事業部

• 木本 浩司

  日立

• 木本 浩司

  日立 日立研

• 矢野 史子

  (株)日立製作所 半導体グループ

• 三井 泰裕

  (株)日立ハイテクノロジーズ

• 木本 浩司

  名古屋大学大学院工学研究科応用物理学専攻

• 上田 和浩

  富山大学 理学部

• 宇佐美 勝久

  (株)日立製作所 日立研究所

• 宇佐美 勝久

  日立・日立研

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著作論文

• SiO_xN_y/Si界面の位置分解EELS計測
• 28p-L-6 イメージングフィルタによる元素分布像の定量観察

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