青山 隆 | 日立製作所日立研究所
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概要
関連著者
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青山 隆
日立製作所日立研究所
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鍛示 和利
日立製作所日立研究所
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砂子沢 成人
株式会社日立ハイテクノロジーズ那珂事業所
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木本 浩司
物質・材料研究機構 ナノ計測センター 先端電子顕微鏡グループ
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木本 浩司
名古屋大学大学院工学研究科応用物理学専攻
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青山 隆
日立日立研
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上田 和浩
日立・日立研
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青山 隆
日立・日立研
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上田 和浩
富山大学 理学部
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田中 弘之
日立製作所計測器グループ
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砂子沢 成人
日立製作所計測器グループ
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木本 浩司
物質・材料研究機構
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鍛示 和利
日立日立研
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田谷 俊陸
日立計測器グループ
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田中 弘之
日立計測器グループ
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砂子沢 成人
日立計測器グループ
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田谷 俊陸
日立製作所計測器グループ
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木本 浩司
無機材質研究所
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鍛示 和利
日立・日立研
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田谷 俊陸
日立・計測器グループ
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砂子沢 成人
日立・計測器グループ
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木本 浩司
日立製作所日立研究所
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HUNT J.
Gatan Inc.
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上田 和浩
日立製作所日立研究所
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木本 浩司
日立・日立研
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矢野 史子
日立・半導体事業部
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三井 泰裕
日立・半導体事業部
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木本 浩司
日立 日立研
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鈴木 誉也
日立製作所日立研究所
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矢野 史子
(株)日立製作所 半導体グループ
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砂子沢 成人
(株)日立ハイテクノロジーズ
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大橋 弘三郎
茨城大学理学部
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三井 泰裕
(株)日立ハイテクノロジーズ
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井村 久則
金沢大院自然
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井村 久則
茨城大理
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亀田 直弘
茨城大理
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大橋 弘三郎
茨城大理
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Imura Hisanori
Department Of Chemistry Faculty Of Science Ibaraki University
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鈴木 誉也
日立・日立研
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井上 洋典
日立・日立研
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岡島 義昭
日立製作所日立茨城工業専門学院材料工学科
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田谷 俊陸
日立製作所中央研究所
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田谷 俊陸
日立製作所
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上田 和浩
日立製作所
著作論文
- 半導体素子用絶縁膜の元素および化学結合状態
- STEMを用いた軽元素分布像観察法の検討
- 実時間元素分布写像システムの開発
- EF-TEMによる無機材料の元素および化学結合状態の分析
- 走査透過像観察装置(HD-2000)による軽元素分布の観察
- 走査透過型電顕(HD-2000)によるスペクトルイメージング
- SiO_xN_y/Si界面の位置分解EELS計測
- ランタノイド(III)-β-ジケトンキレートとクロム(III)及びコバルト(III)-アセチルアセトンキレート間の多核錯体生成反応
- 赤外分光分析法によるSi気相成長炉内ガス濃度のin-situ計測
- 紫外光パルスレ-ザ照射多結晶Si膜の結晶構造評価
- STEMを用いた元素分布観察 (ナノテクノロジーにおけるAEMの役割)
- ナノメートル対応の分析評価技術 (特集1 i-engineering:日立製作所が創造する技術の総合マーケット)