小川 吉文 | 株式会社ルネサステクノロジ

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概要

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• 同名の論文著者
• 株式会社ルネサステクノロジの論文著者

関連著者

• 矢野 史子

  (株)ルネサステクノロジ 解析技術開発部

• 小川 吉文

  株式会社ルネサステクノロジ

• 朝山 匡一郎

  (株)ルネサステクノロジ 解析技術開発部

• 荒川 史子

  株式会社ルネサステクノロジ

• 水野 貴之

  株式会社ルネサステクノロジ

• 矢野 史子

  株式会社ルネサステクノロジ

• 柳田 博史

  株式会社ルネサステクノロジ

• 寺田 尚平

  株式会社日立製作所日立研究所

• 朝山 匡一郎

  株式会社ルネサステクノロジ

• 矢野 史子

  (株)日立製作所 半導体グループ

• 朝山 匡一郎

  (株)日立製作所 半導体グループ

• 荒川 史子

  (株)日立製作所 半導体グループ プロセス解析技術部

• 小川 吉文

  (株)日立製作所 半導体グループ プロセス解析技術部

• 矢野 史子

  (株)日立製作所 中央研究所

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著作論文

• ナノプローバとTEMを用いた不良解析手法の開発(LSIシステムの実装・モジュール化技術及びテスト技術,一般)
• ナノプローバとTEMを用いた不良解析手法の開発(LSIシステムの実装・モジュール化技術及びテスト技術,一般)
• TEM, STEM-EELSによる半導体解析技術
• Si系デバイス絶縁膜のEELS分析 (分析技法の最前線)

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