位置分解型TEM-EELSによる半導体界面の解析 (先端材料への新展開)

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概要

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• 日本顕微鏡学会分析電子顕微鏡分科会の論文
• 2005-08-30

著者

• 矢野 史子

  (株)ルネサステクノロジ 解析技術開発部

• 橋川 直人

  ルネサステクノロジ

• 朝山 匡一郎

  東工大院理工

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