CuKβ-X線反射率法による薄膜積層体の層構造解析
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概要
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- 1996-09-01
著者
-
平野 辰巳
(株)日立製作所日立研究所
-
星屋 裕之
日立製作所中央研究所
-
成重 真治
(株)日立製作所ストレージ事業部
-
上田 和浩
日立・日立研
-
星屋 裕之
中央研究所
-
上田 和浩
富山大学 理学部
-
平野 辰巳
日立 日立研
-
宇佐美 勝久
日立 日立研
-
上田 和浩
日立 日立研
-
成重 真治
ストレージシステム事業部
-
宇佐美 勝久
日立協和エンジニアリング(株)
-
星屋 裕之
中研
-
成重 眞治
Data Storage & System Div. Hitachi Ltd.
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