CoFe/Al_2O_3グラニュラ膜の磁気,電気特性に及ぼす膜形成条件の影響 : ソフト磁性材料
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概要
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The magnetic properties and resistivity of granular CoFe/Al_2O_3 films with various Al_2O_3 preparation conditions were investigated. The films came to have good soft magnetic properties and their resistivity increased as the Ar gas pressure used in the Al_2O_3 preparation decreased. The surface roughness of these films also became large when a low Ar gas pressure was used in the Al_2O_3 preparation. In view of the above results, the coverage of CoFe granules with Al_2O_3 was thought to be different when various Ar gas pressures were used in the Al_2O_3 preparation.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2002-04-01
著者
-
星屋 裕之
日立製作所中央研究所
-
星野 勝美
日立製作所中央研究所
-
高橋 宏昌
(株)日立製作所ストレージテクノロジー研究センタ
-
星野 勝美
日立中研
-
星野 勝美
(株)日立製作所・中央研究所
-
星野 勝美
(株)日立製作所中央研究所
-
星屋 裕之
(株)日立製作所中央研究所
-
星屋 裕之
中央研究所
-
渡辺 克朗
(株)日立製作所中央研究所
-
星屋 裕之
(株)日立製作所 中央研究所
-
渡辺 克朗
(株)日立製作所 中央研究所
-
高橋 宏昌
(株)日立製作所 基礎研究所
-
高橋 宏昌
日立製作所ST研究センター
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