Mn-Ir反強磁性層の組織とNi-Fe層との交換結合
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概要
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スピンバルブ用の反強磁性層としてMn-Ir系合金を検討した。本研究では、イオンビームスパッタリング装置により、種々の条件でMn-Ir/Ni-Fe多層膜を形成し、Ni-Fe磁性層に印加される交換バイアス磁界の変化について系統的に調べた。その結果、Mn-Ir層の平均結晶粒径を大きくすると、Ni-Fe層に印加される交換バイアス磁界が高くなることを明らかにした。[Hf(5nm)/Mn-Ir(15nm)/Ni-Fe(5nm)/Hf(5nm)/Si基板]の積層構造において得られた最も高い交換バイアス磁界は、約15kA/mであった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-06-13
著者
-
中谷 亮一
日立中研
-
中谷 亮一
(株)日立製作所中央研究所
-
中谷 亮一
(株)日立製作所・中央研究所
-
星野 勝美
(株)日立製作所・中央研究所
-
星野 勝美
(株)日立製作所中央研究所
-
星野 勝美
日立
-
杉田 愃
東北大学電気通信研究所
-
星屋 裕之
(株)日立製作所中央研究所
-
杉田 愃
(株)日立製作所中央研究所
-
星屋 裕之
(株)日立製作所 中央研究所
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