面内磁気記録媒体の粒径解析
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概要
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高密度面内磁気記録媒体のノイズ低減には, 磁性結晶粒径の微細化が有効である.CoCrTa/Cr媒体を対象に, 走査電子顕微鏡(SEM), 原子間力顕微鏡(AFM), および透過電子顕微鏡(TEM)を用いて, 下地膜と磁性膜の粒径を詳細に評価し, 以下の結果を得た. 1)SEM, AFM, TEM像の粒径解析結果は必ずしも一致しない. 2)Cr膜では, 表面形態(SEM, AFM)より求めた径に比べて, 結晶粒径(TEM)の方が大きい. 3) CrTi合金下地膜では, SEM, AFMより求めた径と結晶粒径が一致する. 4) Cr下地膜上に形成された磁性膜の粒径は, Cr膜の表面形態(SEM, AFM)より求めた径と一致する. 5)CrにTiを添加すると, 下地膜粒が微細化する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-01-26
著者
-
五十嵐 万壽和
(株)日立製作所中央研究所
-
成重 真治
(株)日立製作所ストレージ事業部
-
稲垣 譲
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
-
細江 譲
(株)日立製作所 研究開発本部 ストレージテクノロジー研究センタ
-
五十嵐 万壽和
日立製作所・中央研究所
-
細江 譲
日立 中研
-
松田 好文
(株)日立製作所・中央研究所
-
屋久 四男
(株)日立製作所ストレーシ゛システム事業部
-
五十嵐 万壽和
(株)日立製作所 中央研究所
-
細江 譲
株式会社日立製作所中央研究所
-
古澤 賢司
(株)日立製作所 研究開発本部 ストレージ・テクノロジー研究センタ
-
屋久 四男
日立ストレージシステム事業部
-
成重 眞治
Data Storage & System Div. Hitachi Ltd.
-
古澤 賢司
(株)日立製作所 生産技術研究所
-
古澤 賢司
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
-
五十嵐 万壽和
(株)日立製作所
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