多波長X線反射率法による積層フェリ型SV膜の層構造解析
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概要
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- 1999-10-01
著者
-
平野 辰巳
(株)日立製作所日立研究所
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今川 尊雄
(株)日立グローバルストレージテクノロジーズ
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田島 康成
日立
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今川 尊雄
日立ストレージ事業部
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平野 辰巳
日立日立研
-
宇佐美 勝久
日立協和エンジニアリング(株)
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宇佐美 勝久
日立日立研
-
小林 憲雄
日立日立研
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田島 康成
日立ストレージシステム事業部
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今川 尊雄
(株)日立製作所ストレージ事業部
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今川 尊雄
日立・ストレージ事業部
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