SPring-8におけるCZ-Si結晶中の転位の伝播挙動と三次元構造評価(半導体結晶成長III)
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概要
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Si crystal ingots 1-2 inches in diameter were nondestructively examined by high-energy synchrotron-radiation X-ray topography at SPring-8. Dislocations were drastically propagated and multiplied in lightly B-doped Si crystal, on the other hand, it was found that dislocations were propagated along <111> direction in heavily B-doped Si crystal.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2003-07-05
著者
-
飯田 敏
富山大・理
-
近浦 吉則
九工大
-
太子 敏則
東北大学金属材料研究所
-
太子 敏則
信州大学教育学部
-
鈴木 芳文
九工大・工
-
梶原 堅太郎
高輝度光科学研究センター
-
梶原 堅太郎
SPring-8
-
梶原 堅太郎
Jasri Spring-8
-
近浦 吉則
九州工業大学工学部物質工学科
-
干川 圭吾
信州大学教育学部
-
飯田 敏
富山大学理学部物理学科
-
川戸 清爾
理学電機(株)X線研究所
-
干川 圭吾
信州大学教育学部教育実践研究指導センター
-
川戸 清爾
九州シンクロトロン光研究センター
-
干川 圭吾
信州大・教育
-
太子 敏則
信州大・教育
-
出作 雅幸
富山大
-
干川 圭吾
信州大学大学院工学系研究科電気電子工学専攻
-
鈴木 芳文
九州工業大学大学院工学研究科
-
梶原 堅太郎
高輝度光科学研究所
-
干川 圭吾
信州大
-
梶原 堅太郎
高輝度光科学研究センター 産業利用推進室
-
鈴木 芳文
九工大 (工)
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