放射光トポグラフィーによるシリコン結晶中の微小欠陥の観察 - 高エネルギーX線・高次反射の利用 -
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概要
著者
-
阿部 孝夫
信越半導体(株)半導体研究所
-
飯田 敏
富山大・理
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竹野 博
信越半導体(株)
-
阿部 孝夫
信越半導体
-
阿部 孝夫
信越半導体kk
-
杉田 吉充
富山大・理
-
飯田 敏
富山大学理学部物理学科
-
杉田 吉充
富山大学理学部
-
飯田 敏
富山大学理学部・物理
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