CeO_2砥粒によるWet環境下でのSiO_2の研磨加工シミュレーション
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概要
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- 2012-06-10
著者
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
尾澤 伸樹
東北大院工
-
中村 美穂
東北大院工
-
尾澤 伸樹
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
中村 美穂
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
石川 宗幸
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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