歪み技術による (100) および (110) トランジスタの性能向上戦略
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概要
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- 2009-03-09
著者
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内田 建
東京工業大学大学院 理工学研究科電子物理工学専攻
-
齋藤 真澄
東芝研究開発センター
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内田 建
東京工業大学
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内田 建
東京工業大学電子物理工学専攻:prest化学技術振興機構
-
齋藤 真澄
(株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
-
齋藤 真澄
東芝
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齋藤 真澄
(株)東芝 研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
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