高制御Si/SiGeエピタキシャル成長による超低消費電力SiGe HBTの実現
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概要
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- 2008-09-27
著者
-
三浦 真
日立製作所
-
鷲尾 勝由
株式会社日立製作所中央研究所
-
鷲尾 勝由
(株)日立製作所中央研究所ulsi研究部
-
鷲尾 勝由
日立製作所中央研究所
-
小田 克矢
日立製作所中央研究所
-
島本 裕巳
ルネサス北日本セミコンダクタ
-
小田 克矢
日立製作所
-
島本 裕己
日立デバイスエンジニアリング
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