分割モデルによる自己整合型ハイボーラトランジスタのベース抵抗の検討
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概要
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バイポーラ・トランジスタの速度性能を決定する主な交流パラメータとしては,ベース抵抗(rbb'),遮断周波数(fT),ベース・コレクタ間容量(CTC)等が挙げられる。これらのパラメータには複雑な相関関係があり,トランジスタの高速化には各々のパラメータの改善と各パラメータ間の最適化が重要である。ベース抵抗の評価では,従来から測定できない動作時の真性ベース抵抗と自己整合技術に伴い新たに発生したつなぎベース抵抗の抽出が重要な課題となっていた。今回我々は,自己整合型バイポーラ・トランジスタのベース抵抗の解析手法について検討を行ったので,その結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
鷲尾 勝由
(株)日立製作所 中央研究所
-
尾内 享裕
(株)日立製作所 中央研究所
-
鷲尾 勝由
(株)日立製作所中央研究所ulsi研究部
-
島本 裕巳
日立デバイス
-
田辺 正倫
日立デバイスエンジニアリング(株)
-
田邊 正倫
(株)ルネサス北日本セミコンダクタ
-
尾内 享裕
日立 中研
-
島本 裕巳
ルネサス北日本セミコンダクタ
-
田邊 正倫
(株)ルネサス北日本セミコンダク
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