分子動力学法によるシリコン酸化膜の大規模モデリング

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2002-02-10

著者

• 渡邉 孝信

  早稲田大学工学部

• 渡邉 孝信

  早稲田大学理工学術院

• 大泊 巌

  早大理工

• 大泊 巌

  早稲田大学理工学術院

• Ohdomari Iwao

  School Of Science And Engineering Waseda University:kagami-memorial Laboratory For Materials Science

• Ohdomari Iwao

  School Of Science And Engineering Waseda University:kagami Memorial Laboratory For Materials Science

• 辰村 光介

  早稲田大学理工学部

• 大泊 巖

  早稲田大学理工学部

• 大泊 巌

  Faculty Of Science And Engineering Waseda University

• 大泊 巌

  早大

• 大泊 巌

  早大・理工

• 渡邉 孝信

  早稲田大学 理工学術院

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