4. 先端放電型マイクロ波プラズマCVDによる単層カーボンナノチューブ配向成長(<小特集>プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題)
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概要
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It is very important to control the growth orientation of carbon nanotubes (CNTs) on substrates for applications such as field emission devices and CNT-based FETs. Although chemical vapor deposition (CVD) is the most reliable means to this end, there have been few reports on the synthesis of vertically aligned single-walled carbon nanotubes (SWNTs) using the CVD method. In this study, we demonstrate the low temperature synthesis of extremely dense and vertically aligned SWNTs deposited by point-arc microwave plasma CVD.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2005-09-25
著者
-
川原田 洋
早大理工
-
川原田 洋
早稲田大学理工学部
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大泊 巌
早稲田大学理工学部
-
大泊 巌
早大理工
-
大泊 巌
早稲田大学理工学術院
-
Ohdomari Iwao
School Of Science And Engineering Waseda University:kagami-memorial Laboratory For Materials Science
-
Ohdomari Iwao
School Of Science And Engineering Waseda University:kagami Memorial Laboratory For Materials Science
-
鍾 国倣
早稲田大学理工学部
-
岩崎 孝之
早稲田大学理工学部
-
大泊 巌
Faculty Of Science And Engineering Waseda University
-
大泊 巌
早大
-
川原田 洋
早稲田大学理工学術院
-
大泊 巌
早稲田大学
-
大泊 巌
早大・理工
-
川原田 洋
早大理工学術院
-
川原田 洋
早稲田大学・理工学部
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