ゲートスタック技術 (特集 ゲートスタック技術の表面・界面科学)
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概要
著者
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角嶋 邦之
東工大総理工
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岩井 洋
東工大フロンティア研
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岩井 洋
東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
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岩井 洋
(株)東芝研究開発センターulsi研究所
-
川那子 高暢
東京工業大学フロンティア研究機構
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