27pRE-9 収差補正TEM/STEMを用いたLa_2O_3/Si界面ラフネスの精密解析(27pRE X線・粒子線(電子線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2009-03-03

著者

• 山崎 順

  名大エコ研

• 田中 信夫

  名大エコ研

• 山崎 順

  名大エコトピア研

• 田中 信夫

  名大エコトピア研

• 稲元 伸

  名大院工

• 田中 信夫

  名古屋大学

• 奥西 栄治

  日本電子(株)

• 角嶋 邦之

  東工大総理工

• 岩井 洋

  東工大フロンティア研

• 岩井 洋

  東京工業大学フロンティア創造共同研究センター

• 岩井 洋

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 奥西 栄治

  日本電子:jst-crest

• 岩井 洋

  (株)東芝研究開発センターulsi研究所

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