22pXB-8 球面収差補正 TEM によるシリコン界面の原子直視観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2003-08-15
著者
-
山崎 順
名大エコトピア研
-
田中 信夫
名大理工総研
-
澤田 英敬
Jst-cresta:日本電子
-
山崎 順
名大理工総研
-
澤田 英敬
日本電子(株)
-
富田 健
日本電子(株)
-
富田 健
日本電子株式会社
-
沢田 英敏
Jst-ceest:日本電子
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