川那子 高暢 | 東京工業大学フロンティア研究機構
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概要
関連著者
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岩井 洋
東工大フロンティア研
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岩井 洋
東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
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岩井 洋
(株)東芝研究開発センターulsi研究所
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川那子 高暢
東京工業大学フロンティア研究機構
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角嶋 邦之
東工大総理工
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角嶋 邦之
東京工業大学
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岩井 洋
東京工業大学
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杉井 信之
(株)日立製作所中央研究所
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杉井 信之
東京工業大学大学院総合理工学研究科物理電子システム創造専攻
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筒井 一生
東京工業大学大学院 総合理工学研究科
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服部 健雄
東北大学未来科学技術共同研究センター
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名取 研二
東京工業大学フロンティア研究機構
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西山 彰
東京工業大学大学院総合理工学研究科
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服部 健雄
東京工業大学フロンティア研究機構
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AHMET Parhat
東京工業大学フロンティア研究機構
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服部 健雄
東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
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パールハット アヘメト
東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
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アヘメト パールハット
東京工業大学 フロンティア創造共同研究センター
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西山 彰
東芝 研究開発センター
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アヘメト パールハット
東京工業大学フロンティア研究機構
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杉井 信之
東京工業大学大学院総合理工学研究科
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服部 健雄
東京工大 フロンティア研究機構
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パルハット アヘメト
東京工業大学フロンティア研究機構
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西山 彰
東京工業大学大学院総合理工学研究
著作論文
- 高温熱処理とMIPS構造によるLa-silicate/Si界面特性の改善と低EOTの実現(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- ゲートスタック技術 (特集 ゲートスタック技術の表面・界面科学)
- ゲートスタック技術