西山 彰 | 東京工業大学大学院総合理工学研究

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概要

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• 東京工業大学大学院総合理工学研究の論文著者

関連著者

• 筒井 一生

  東京工業大学大学院 総合理工学研究科

• 名取 研二

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 西山 彰

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 服部 健雄

  東京工業大学フロンティア創造共同研究センター

• 杉井 信之

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 角嶋 邦之

  東京工業大学

• 岩井 洋

  東京工業大学

• 西山 彰

  東京工業大学大学院総合理工学研究

• 杉井 信之

  (株)日立製作所中央研究所

• 岩井 洋

  東工大フロンティア研

• 岩井 洋

  東京工業大学フロンティア創造共同研究センター

• 服部 健雄

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 服部 健雄

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 西山 彰

  東芝 研究開発センター

• 岩井 洋

  (株)東芝研究開発センターulsi研究所

• 杉井 信之

  東京工業大学大学院総合理工学研究科物理電子システム創造専攻

• 角嶋 邦之

  東工大総理工

• アヘメト パールハット

  東京工業大学 フロンティア創造共同研究センター

• パルハット アヘメト

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 角嶋 邦之

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• アヘメト パルハット

  東京工業大学フロンティア研究機構

• パールハット アヘメト

  東京工業大学フロンティア創造共同研究センター

• アヘメト パールハット

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 服部 健雄

  東京工大 フロンティア研究機構

• 田村 雄太

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 吉原 亮

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 片岡 好則

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 茂森 直澄

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 佐藤 創志

  東京工業大学フロンティア研究機構

• AHMET Parhat

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 来山 大祐

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 小柳 友常

  東京工業大学フロンティア研究機構

• Parhat Ahmet

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 佐藤 創志

  東京工業大学フロンティア創造共同研究センター

• ザデ ダリューシュ

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 細井 隆司

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 川那子 高暢

  東京工業大学フロンティア研究機構

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著作論文

• SiナノワイヤへのNiシリサイド形成と過剰な侵入とその抑制に関する検討(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
• EOT=0.5nmに向けた希土類MOSデバイスの高温短時間熱処理の検討(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
• 高温熱処理とMIPS構造によるLa-silicate/Si界面特性の改善と低EOTの実現(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• コンダクタンス法を用いたHfO_2/In_Ga_Asの界面解析(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• 微細3次元デバイスに向けたシリサイドショットキーS/Dの界面制御方法の提案(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• 微細3次元デバイスに向けたシリサイドショットキーS/Dの界面制御方法の提案

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