杉井 信之 | 東京工業大学大学院総合理工学研究科物理電子システム創造専攻
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概要
関連著者
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杉井 信之
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杉井 信之
東京工業大学大学院総合理工学研究科物理電子システム創造専攻
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岩井 洋
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宋 在烈
東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
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ザデ ダリューシュ
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細井 隆司
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川那子 高暢
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東京工業大学フロンティア研究機構
著作論文
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- EOT=0.5nmに向けた希土類MOSデバイスの高温短時間熱処理の検討(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
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- 高温熱処理とMIPS構造によるLa-silicate/Si界面特性の改善と低EOTの実現(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
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