新結晶・新物質 SiC上の結晶化SiON超薄膜
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概要
著者
-
白澤 徹郎
東京大学物性研究所
-
栃原 浩
九州大学大学院総合理工学研究院
-
水野 清義
九大院総理工
-
栃原 浩
九大総理工
-
栃原 浩
北大触媒研
-
栃原 浩
北大触媒セ
-
栃原 浩
物性研
-
栃原 浩
九大
-
栃原 浩
九州大学工学部
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