21pTG-11 SiC(0001)上にエピタキシャル成長した秩序SiON超薄膜(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2007-02-28

著者

• 田中 悟

  九大院工

• 白澤 徹郎

  東京大学物性研究所

• 栃原 浩

  九州大学大学院総合理工学研究院

• 水野 清義

  九大院総理工

• 栃原 浩

  九大総理工

• 水野 清義

  九大総理工

• 林 賢二郎

  九大院総理工

• 林 賢二郎

  九大総理工

• 田中 悟

  九大工院

• 白澤 徹郎

  九大総理工

• 栃原 浩

  北大触媒セ

• 栃原 浩

  物性研

• 栃原 浩

  九州大学工学部

• 田中 悟

  九州大学大学院工学研究院

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