21pXJ-11 自己形成SiC表面ナノファセットの規則化距離(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2007-08-21

著者

• 田中 悟

  九大院工

• 藤井 政弘

  北大電子研

• 田中 悟

  九州大学大学院工学研究院

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