a-SiC:H薄膜のXPSによる観察(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 鈴木 佳子

  静岡大学電子工学研究所

• 斎藤 順雄

  静岡大学電子工学研究所

• 島岡 五朗

  静岡大学電子工学研究所

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