RF反応性スパッタリングによるZnO薄膜の成長 (II)
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概要
著者
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島岡 五朗
The University of New South Wales
-
伊ケ崎 泰宏
静大電子研
-
島岡 五朗
静岡大学電子工学研究所
-
伊ケ崎 泰宏
静岡大学電子工学研究所
-
清水 安元
静岡大学大学院電子科学研究科
-
清水 安元
静岡大学電子工学研究所
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