細線複合ターゲット法によるTi-Fe系合金膜の作製
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概要
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Ti<SUB><I>x</I></SUB>Fe<SUB>1-<I>x</I></SUB> films were successfuly prepared by sputtering from composite cathodes. The cathode consisted of fine wires of one metal and a disk of the other metal. It was found that films of any composition (x) could be prepared. Using substrates with lengths larger than separations between the target wires, we could prepare resistor films with excellent uniformity in compositions. From the present study it was found that the sputtered atoms had large diffusibility on the deposited sufaces.
- 日本真空協会の論文
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