複合ターゲット法によるTi-Fe系合金膜の製作とその電気抵抗特性
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概要
著者
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島岡 五朗
The University of New South Wales
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伊ケ崎 泰宏
静大電子研
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三橋 広二
静岡大学電子工学研究所
-
島岡 五朗
静岡大学電子工学研究所
-
中村 康夫
静岡大学電子工学研究所
-
伊ケ崎 泰宏
静岡大学電子工学研究所
-
栗田 典明
静岡大学大学院電子科学研究科
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