負に帯電した石英ガラス基板上のa-Si<SUB>1-x</SUB>C<SUB>x</SUB> : H薄膜におけるXPSスペクトルのシフト

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 中西 洋一郎

  静岡大学電子工学研究所

• 鈴木 佳子

  静岡大学電子工学研究所

• 鈴木 佳子

  静大

• 中村 高遠

  静岡大学工学部

• 斎藤 順雄

  静岡大学電子工学研究所

• 島岡 五朗

  静岡大学電子工学研究所

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