化学気相法による六方晶BN粉末の作製(発光型/非発光型ディスプレイ)
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概要
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六方晶窒化ホウ素(h-BN)の紫外発光蛍光体への応用に着目し、BCl_3およびNH_3を原料とする化学気相法を用いてh-BN粉末の作製を行った。目的は、高品質なh-BN粉末を合成するためのプロセスの探索と、発光制御に関する知見を得ることである。実験では、反応温度を1800℃で一定とし、主として原料およびN_2キャリアガスの流量を変化させることで特性の合成条件依存性を調べた。X線回折測定からは、試料はアモルファスまたは異相を合む状態であることがわかった。一方、発光特性に関しては、カソードルミネッセンススペクトルにおいて300〜350nmに現れる不純物発光が支配的であるものの、215〜240nmのバンド端発光を示す試料を作製することができた。
- 2010-01-28
著者
-
小南 裕子
静岡大学
-
中西 洋一郎
静岡大学
-
原 和彦
静岡大学
-
小南 裕子
静岡大学電子工学研究所
-
中西 洋一郎
静岡大学電子工学研究所
-
山内 学
静岡大学
-
原 和彦
静岡大学 電子工学研究所
-
中西 洋一郎
静岡大
-
中西 洋一郎
静大電子研
-
Nakanishi Y
Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
Nakanishi Yoichiro
Research Institute Of Electronics Graduate School Of Electronic Science And Technology Shizuoka Univ
-
Nakanishi Yoshiki
Department Of Materials Science And Engineering Iwate University
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