シリコンのグロー放電プラズマ酸化膜のX線光電子分光法による評価

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概要

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• 静岡大学の論文

著者

• 安田 安生

  静岡大学電子工学研究所

• 福田 安生

  静岡大学電子科学研究科

• 畑中 義式

  静岡大

• 鈴木 佳子

  静岡大学電子工学研究所

• 福田 安生

  日本鋼管(株)中央研究所

• 鈴木 佳子

  静大

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