27a-PB-2 ターシャリブチルホスフィン(TBP)のSi(001)上での分解機構の研究

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概要

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• 1996-03-26

著者

• 福田 安生

  静岡大学電子工学研究所

• 眞田 則明

  静岡大学電子工学研究所

• 鈴木 佳子

  静岡大学電子工学研究所

• 竹内 彰矢

  静岡大学電子工学研究所

• 村田 純一

  静岡大学電子工学研究所

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