特集2 : 研究解説 : 走査電子顕微鏡による表面形状測定
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概要
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特集 生産加工システムの先進技術走査電子顕微鏡(SEM)を用いて微細表面形状を測定する方法について、光学的方法、トンネル顕微鏡(STM)との比較を簡単に行った後、 SEM二を用いる方法の中にも、ステレオ画像法、二次電子信号を用いる方法,反射電子信号を用いる方法があることを述べている。サブμm台の形状に対する当面の最も信海性の高い方法として、反射電子信号による方法があげられていることを、その特徴や機能を概観しつつ明らかにしている
- 2011-03-17
著者
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