ナイロン焼結体の真空チャックへの応用 : 第1報,吸引保持性能の検討
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概要
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As magnetic memory density increases, increased flatness of an Aluminium disk is required. to improve the flatness obtained by diamond turning, a porous sintered nylon was applied to a vacuum chuck. then the retention ability of the sintered nylon was investigated and the following points were clarified. First, it was found that the static friction factor between the chuck and an Aluminium plate was smaller than that of conventional chucks, but that the retention by suction was strong enough to bear the cutting force in turning. Secondly, a desirable surface hardness of the chuck was attained when the pore rate was from 40% to 52%. Thirdly a strong retention was obtained after the surface of the chuck was out.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1988-04-25
著者
-
池野 順一
埼玉大学
-
谷 泰弘
東京大学生産技術研究所
-
佐藤 壽芳
東京大学生産技術研究所
-
佐藤 壽芳
東京大学
-
佐藤 壽芳
東京大学生産技術研究所第2部(元)
-
池野 順一
埼玉大学大学院理工学研究科
-
池野 順一
東京大学生産技術研究所
-
冷水 真
日興リカ(株)
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