313 液晶SLMを用いたレーザトラッピングに関する基礎研究(OS6 マイクロ加工(1))
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概要
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The purpose of this study to accomplish three-dimensional trapping of micro objects by a YAG laser with the Liquid Crystal Spatial Light Modulator (LCSLM). This paper describes a prototype experimental system. The experimental result shows that performance of phase modulation decreases with the increases of temperature of LCSLM. For this reason, the cooling system is necessary for LCSLM. The experimental result using cooling system shows a constant performance of phase modulation for a LCSLM. Using the cooled LCSLM, we have carried out the two-dimensional trapping of a particle. Using YAG laser a global trapping system has been developed by cooled LCSLM.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
池野 順一
埼玉大学
-
中川 裕介
埼大院
-
河西 敏雄
(株)河西研磨技術特別研究室
-
池野 順一
埼玉大学大学院理工学研究科
-
ウディン モハマドジャシム
埼玉大院
-
中川 裕介
埼玉大院
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池野 順一
埼玉大院
-
河西 敏雄
埼玉大院
-
尼子 淳
セイコーエプソン
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