シリコンの鏡面研削に関する研究 : 薄片状シリカ粒子を用いたEPD砥石の開発
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
池野 順一
埼玉大学
-
鈴木 浩文
中部大
-
深澤 隆
豊橋技術科学大学大学院工学研究科生産システム工学
-
鈴木 浩文
豊橋技科大
-
澁谷 秀雄
豊橋技科大
-
堀内 宰
豊橋技科大
-
不破 徳人
豊橋技術科学大学
-
池野 順一
埼玉大学大学院理工学研究科
-
深澤 隆
豊橋技科大院
-
不破 徳人
豊橋技科大院
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