S1302-1-5 レーザ微細加工に関する研究 : 微細配線の作製(超精密加工(1))
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概要
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Recently, AV equipments are required high quality image. In case of PDF, the micro wiring on display panel has enable high-definition image. In this paper, it tried to form the micro silver wiring by laser direct irradiation. As the result, we succeeded forming micro silver wiring, width : 48μm and electrical resistivity : 2.5×10^<-6>Ω・cm.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
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