1110 高精度研磨加工に関する基礎的研究(OS14 精密・微細加工セッション(2))
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概要
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研磨加工において,鏡面かつ高平坦度なガラス基板を作製するには,パッドの形状精度を管理し、必要に応じて修正することが重要である.そこで本研究では,ツルーイングに関するシミュレーションを構築し,高精度ガラス基板の作製に関する基礎的検討を行ったので報告する.
- 2007-09-21
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