電気泳動砥石研磨 (特集 超精密研磨加工はどこまで進んだか) -- (各種研磨法の開発成果)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日刊工業新聞社の論文

著者

• 池野 順一

  埼玉大学

• 池野 順一

  埼玉大学大学院理工学研究科

関連論文

• 応用地質学的な視点から見た天然砥石の特徴とその産業技術への展開
• 427 極座標型ロボットによる非球面研磨の基礎検討(OS12 研削・砥粒加工)
• 金属Cuの鏡面研磨加工(5):LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングの基礎検討
• 小片工具による研磨のシミュレーション:熟練技能者を想定した研磨操作運動
• 多軸研磨ヘッドを用いた非球面研磨
• アルミニウム合金のスーパースムーズ鏡面研磨(2)
• アルミニウム合金のスーパースムーズ鏡面研磨
• 多軸ポリシャヘッドの試作
• 金属Cuの鏡面研磨加工(4) : LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングに基礎検討
• 鉄系材料の回転バレル研磨による鏡面加工
• 314 レーザトラッピングを用いた粘性測定法に関する研究(OS13 レーザ応用加工)
• レーザトラッピングを用いた粘性計測に関する研究
• EPD研削切断法に関する研究 : 切断機構に関する一考察
• 光学材料のEPD研磨に関する研究 : 第1報 : 平板状研磨砥石の開発
• 21505 EPD砥石を用いた光学ガラスの鏡面研削加工(研削・研磨加工-2,OS.14 研削・研磨加工)
• 2610 硬脆材料の鏡面研削砥石に関する研究 : EPD研削における粗さの原因究明(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
• 硫酸バリウム砥石を用いたシリコンの鏡面研削 : 反応生成物の分析
• EPDペレットを用いた鏡面研削に関する研究-金属酸化物微粒子の適応-
• 生産原論専門委員会活動報告(5.3 専門委員会・分科会の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
• 生産原論二十歳の旅立ち:人間中心のモノづくり未来学
• 水晶,石英ガラス,シリコンのP-MACポリシング
• レーザマイクロ割断に関する研究 : 3次元割断の試み
• レーザマイクロ割断に関する研究(第2報)
• レーザマイクロ割断に関する研究 : 3次元割断によるマイクロレンズ製造の可能性について
• ノングレア形状創成のためのレーザ微細加工法に関する研究
• 合砥に基づく新たな鏡面研削用砥石に関する研究 : 合砥の調査および積層砥石の開発
• 天然砥石に学ぶ超精密研削用砥石に関する研究(第1報)天然砥石の構造解析と層状砥石の試作
• 天然砥石に学ぶ超精密研削用砥石に関する研究(第1報) : 天然砥石の構造解析と層状砥石の試作
• P15. 天然砥石の応用地質学的考察と超精密加工への応用(岩石・岩盤物性・解析,地山分類・評価,岩盤分類,コアタイム,ポスターセッション)
• 天然砥石に学ぶ超精密研削用砥石の開発
• 特集17 : 研究速報 : 電気泳動現象を利用した超微粒砥石の作成に関する研究
• 2924 レーザによる微小物体の操作に関する研究
• 313 液晶SLMを用いたレーザトラッピングに関する基礎研究(OS6 マイクロ加工(1))
• ナノアブレージョンによる硬脆材料の超精密仕上げ加工に関する研究 : 第2報, 円運動直線走査
• 水晶の鏡面研削に関する研究 : EPD砥石の試作とその研削性能について
• 電気泳動砥石研磨 (特集 超精密研磨加工はどこまで進んだか) -- (各種研磨法の開発成果)
• 205 EPD 砥石による水晶の鏡面研削加工
• 天然砥石に学ぶ超精密研削用砥石に関する研究 : 第2報 : 内曇砥の構造解析
• 成長第一主義か環境保全型生産か? 生産原論第18報
• 環境に優しい鏡面研削砥石の作製に関する一考察 : 加工メカニズムに基づく開発指針
• 超微粒子の電気泳動現象を利用した研削法に関する研究(第2報)-光学ガラスへの適用-
• 薄片状シリカEPDペレットによるシリコンウエハの研削特性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• シリコンの鏡面研削に関する研究 : 薄片状シリカ粒子を用いたEPD砥石の開発
• 1113 レーザインプリント法によるガラスの微細加工に関する研究(OS14 精密・微細加工セッション(2))
• 430 ガラスのレーザインプリントに関する研究(OS-14 レーザ応用加工)
• YAGレーザによるガラス基板のマイクロ接合(第1報) : レーザ透過性を利用したガラス界面の接合の可能性検証
• B-13-31 CO_2レーザによるBOFのポストアニール(B-13.光ファイバ応用技術,一般セッション)
• 金属Cuの鏡面研磨加工(2) : LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングの基礎検討
• 非球面の超平滑・超精密ポリシングに関する研究(第1報) : 球状弾性スモールポリシャの加工特性
• CVD-SiC膜のスーパースムーズポリシング(4)
• 軸対称非球面のELID補正ポリシング
• 生産と環境における諸問題 : 生産原論 第21報
• モノづくりと環境 -生産原論第19報-
• 結晶化ガラスのクラックフリー・3次元レーザ加工
• 溶液を用いた石英ガラスのYAGレーザ加工
• 金属Cuの鏡面研磨加工(1) : LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングの基礎検討
• 川砂や焼却炭灰を用いた研磨剤について : 研磨加工における環境保全・省エネルギー・省資源について(1)
• 自然の恵みと先人の知恵に学ぶ
• 定在波を援用したフェムト秒レーザ加工の可能生について
• S1302-1-5 レーザ微細加工に関する研究 : 微細配線の作製(超精密加工(1))
• レーザ加工
• フェムト秒レーザによるGFRPの内部マーキング
• 鏡面微細パターン形状を創成するレーザ微細加工
• D14 レーザを併用した微小ガラス成形法に関する研究(OS-9 レーザ応用加工(1))
• 水晶ウエハのダメージレス鏡面研削に関する研究 : EPD砥石の研削性能とウエハ品位の評価
• 16・5 エネルギー加工分野(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
• 砥石のルーツ
• 3.4埼玉大学における技術者倫理教育 : 生産原論(〔3〕大学における技術者倫理教育,技術者倫理教育の最前線)
• 超精密加工機の工具-工作物間運動誤差補償法(第8報) -制御特性-
• 超精密加工機の工具-工作物間運動誤差補償法(第7報) -制御特性と加工精度-
• 超精密加工機の工具 -工作物間運動誤差補償法(第6報) -制御系の特性-
• レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第21報) : 金属微粒子の3次元操作法に関する検討
• レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第11報) -大気中における複数粒子の3次元操作-
• 1110 高精度研磨加工に関する基礎的研究(OS14 精密・微細加工セッション(2))
• 1114 レーザ割断によるガラス上の溝創成メカニズムの解明に関する研究(OS14 精密・微細加工セッション(2))
• 403 圧縮空気利用の均一砥粒散布法の検討(加工)
• 生産原論専門委員会報告(生産原論専門委員会,専門委員会・分科会研究レビュー)
• 天然物に学ぶ新技術開発のヒント:生産原論第22報
• レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第20報):金属微粒子の操作法に関する検討
• レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第19報):異形状微小物体の操作
• 天然砥石に学ぶ超精密研削用砥石に関する研究:第1報;京都天然砥石のEPMA分析
• レーザカラーマーキングに関する研究 : 金色マーキングの実現
• F-0525 EPDペレットによるSiウエハの鏡面研削 : 空気冷却による冷却効果について(J17-2 マイクロトライボロジー&プロセッシング(2))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
• 409 ガラス表面のレーザ微細成形加工
• YAGレーザによるガラス表面の微細加工(第3報) : 任意形状の凸部平面創成
• 結晶化ガラスのYAGレーザ加工 -クラックフリー・3次元加工法の開発-
• これまでの研磨加工の研究の反省と今後の展開 : 研磨加工における環境保全・省エネルギー・省資源について(2)
• レーザ光線を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究 : 第2報, 接着剤による構造物の強化
• レーザ光線を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究 : 第1報, 空中における微粒子の操作法に組立法の提案
• 天然物に学ぶ新技術開発のヒント(第2報) : 二枚貝の穿孔プロセスに学ぶマイクロ穴あけ加工
• 固体潤滑剤入りエポキシ樹脂の摩擦摩耗(研磨)特性
• 16・1 概論(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
• シリカEPD砥石による水晶の鏡面研削
• ナイロン焼結体の真空チャックへの応用 : 第1報,吸引保持性能の検討
• 機械工学年鑑(1998年) : 加工学・加工機器
• 永久磁石式磁気軸受併用によるエアスピンドルの高精度高剛性化
• 432 脆性材料の超精密研削(OS12 研削・砥粒加工)
• 401 脆性材料のナノアブレージョン加工
• 工作機械におけるPZT併用式高精度位置決めに関する研究 (第4報)
• 単結晶ゲルマニウムの超精密切削 -き裂発生とその抑制に関する一検討-

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク