1113 レーザインプリント法によるガラスの微細加工に関する研究(OS14 精密・微細加工セッション(2))
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概要
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ガラスは高分子などに比べて高温度で軟化するため,直接表面にインプリントすることは困難である.そこで本研究では,レーザ光線を用いてガラス表面を瞬時に軟化させ,型を転写する新たなレーザインプリント法を提案している.本報で平面の転写実験を中心とした基礎的実験を行ったので報告する.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-21
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