軸対称非球面のELID補正ポリシング
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概要
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- 2000-03-01
著者
-
河西 敏雄
埼玉大学
-
劉 長嶺
理研
-
池野 順一
埼玉大学
-
堀尾 健一郎
埼玉大学
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
牧野内 昭武
理化学研究所
-
池野 順一
埼玉大学大学院理工学研究科
-
劉 長嶺
理化学研究所
-
劉 長嶺
埼玉大学大学院
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