503 長尺X線ミラーの超精密ポリシング(機械工作・生産工学)

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概要

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• This paper describes an ultraprecision polishing method of larger scale x-ray mirrors, and the polishing characteristics. The X-ray mirrors which ELID-grinding ground high form accuracy with #4000 cast iron bonded diamond wheel, it was took polishing with NC control polishing machine. The results, very good ground surface of Ra 1nm mirror can be achieved.

• 2000-08-15

著者

• 大森 整

  理研

• 林 偉民

  理研

• 牧野内 昭武

  理研・ものつくり情報技術統合化研究プログラム

• 劉 長嶺

  理研

• 山形 豊

  理研

• 守安 精

  理研

• 劉 長嶺

  理化学研究所

• 牧野内 昭武

  理研

• 劉 長嶺

  埼玉大院

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